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VMC S500超聲掃描顯微鏡

一、應用領域

1、半導體芯片封裝分層檢測

序號

測量能力

能力描述

1

標準塊測量誤差

測量機械加工的標準塊,在軟件進行強度校準的前提下,超聲檢測多次測量誤差在±1%。

2

工件測量誤差

選取TO系列、SOT系列、SOP等系列工件,采用同一處方且檢測量程不變的情況下分別調整增益22dB、26dB、30dB進行檢測,三次檢測結果釬著率差值在±1%以內。


3

厚度測量范圍

Epoxy材料:

Cu材料:

0.5~2mm(50MHz探頭)

0.5~1.4mm(25MHz探頭)

1.0~4.0mm(15MHz探頭)

1.2~3.7mm(15MHz探頭)

注:根據(jù)客戶工件的材料和厚度選配探頭

4

缺陷識別能力

在測量系統(tǒng)厚度能力范圍內,被測材料聲速在標準材料聲速±5%以內的情況下,且超聲入射表面為平面的被測產(chǎn)品的水平方向的結合缺陷的識別能力為0.15毫米(15MHz、25MHz探頭)和0.07毫米(50MHz探頭)。

二、軟件功能及特點

1、軟件功能

序號

軟件功能

功能描述

1

手動掃描

可以通過手動的方式生成C掃描圖像,反映被檢焊接結合面結合情況,并以釬著率、缺陷面積等數(shù)值的形式顯示檢測結果。

2

探頭與C掃圖像對位

可通過點擊C掃圖的具體像素點將探頭移至與實際被檢工件相對應的位置。

3

手動分析

對生成的C掃圖片可以進行各種編輯,包括加框(確認有效分析區(qū)域),測距,修改閾值,圖片剪裁,弧面補償?shù)取?

4

多種掃描模式

(1)A掃描:查看超聲反射或透射波形;

(2)C掃描:對焦深度上沿X-Y平面掃描并成像;

(3) 區(qū)域掃描:可自定義檢測區(qū)域,并對檢測區(qū)域進行掃描;

(4) 批量掃描:對放置于水槽中的一種或多種工件進行自動檢測。

5

報告自動生成

可對檢測結果自動進行編輯并輸出報告文檔。

6

探頭管理

可對不同型號探頭進行更換或編輯。

7

一鍵自動校準

可自動對檢測設備坐標偏移及檢測系統(tǒng)能量變化,能實時校準系統(tǒng)漂移,保證檢測結果的準確性和穩(wěn)定性。

8

不銹鋼標準強度

系統(tǒng)自帶滿足GBT 11259-2015《超聲波檢測用鋼對比試塊的制作與校驗方法》的不銹鋼標準塊。認定該不銹鋼標準塊的超聲反射強度=100 STSS(“STainless Steel Standard”的縮寫),其他所有材料的檢測相對于STSS做換算。

9

缺陷檢測能

焊接缺陷、粘接缺陷、封裝分層、粘片空洞等區(qū)域和良好區(qū)域。

可對缺陷尺寸和面積進行自動統(tǒng)計和計算。也可根據(jù)客戶的要求,提供有償定制開發(fā)服務。

10

厚度檢測

金剛石圓片等工件的金剛石層厚度檢測。

11

密度檢測

粉末冶金原材料密度分布檢測。

12

聲速檢測

聲音在被測材質中的飛行速度檢測。

2、軟件特點:

一鍵校準功能

手動掃描(A/B/C掃描模式)

批量掃描

導出報告

探頭切換

強度檢測

相位檢測

厚度檢測

斷層檢測

權限分級

三、技術參數(shù)

序號

名稱

參數(shù)

備注

1

整機尺寸

750mm×700mm×1350mm


2

水槽尺寸

350mm×220mm×120mm


3

有效掃描范圍

260mm×25mm×50mm


4

******掃描速度

300mm/s


5

圖像推薦分辨率

1~4000um


6

定位精度

X/Y≤±1μm,Z≤±10μm


7

重復定位精度

X/Y≤±0.01mm,Z≤±0.02mm


8

厚度檢測范圍

根據(jù)客戶工件的材料和厚度選配


六、主要配置表

序號

名稱

規(guī)格

1

掃描系統(tǒng)

X、Y軸:伺服電機驅動;Z軸:步進電機驅動;自動推桿系統(tǒng):步進電機驅動;

2

水槽

350mmx220mmx120 mm

3

超聲發(fā)射、接收器

帶寬1-65MHz

4

高速數(shù)據(jù)采集卡

采樣頻率500MHz

5

超聲探頭

配15MHz0.75in探頭一只

6

工控機

i5處理器、內存4GB、硬盤1T、Win7 32位操作系統(tǒng)。

7

顯示器

21.5"液晶顯示器一個

8

檢測軟件

水浸超聲快速檢測軟件V1.0

四、參照標準:

1、GB/T 18694-2002  探頭及其聲場的表征

2、JB/T4008-1999          液浸式超聲波直射探傷方法

3、JB/T 9214-1999   A型脈沖反射式超聲波探傷系統(tǒng)工作性能測試方法

4、YB/T 144-1998      超聲波探傷信號幅度誤差測量方法

五、環(huán)境條件要求:

序號

名稱

參數(shù)

1

溫度要求

房間溫度(溫控間) 

20~35°C

溫度梯度(時間)

1°C /h

溫度梯度(時間)

2°C /24h

溫度梯度(空間)

1°C /m

2

濕度要求

空氣相對濕度

35℃≤50%RH

3

電源要求

電壓

220V±10%/50Hz,

頻率

50/60 Hz

耗電量

1~2KW

接地要求

接地電阻小于4歐姆

4

水源要求

水質

自來水、去離子水或者純凈水,并且需要定期更換

水溫要求

15~30℃

5

周邊環(huán)境

磁場要求

禁止放在強磁場、電磁波和產(chǎn)生高頻設備的地方。

環(huán)境要求

少振動、少灰塵少,無腐蝕性氣體的地方。

振浮要求

振動:10Hz以下振動******振幅0.7μmPP以下,10-50Hz振動的******加速度1mmPP/S以下

固定要求

防止震動的損壞,四周一定要固定

6

選配要求

需配有UPS電源,以保護設備運行安全

The
Phone

86-139-6769-5208
Hotline